晶圓無氧化烘箱，藍(lán)寶石厭氧烘箱簡介：
  充氮厭氧烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的特殊潔凈烘干設(shè)備。烘箱整機(jī)為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無塵材料，箱內(nèi)持續(xù)充氮，使烘箱工作室內(nèi)處于潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動控制，并有自動恒溫及時間控制裝置，并附設(shè)有超溫自動停電及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。
晶圓無氧化烘箱，藍(lán)寶石厭氧烘箱特點(diǎn)
1、全周氬焊，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機(jī)臺本身產(chǎn)生微塵；
2、耐高溫，可以達(dá)到和工作場同樣的地潔凈等級；
GB/T11158-1989高溫試驗(yàn)箱技術(shù)條件 
GB2423.2-1989試驗(yàn)B
潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。 
潔凈烘箱也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其它高溫試驗(yàn)。
技術(shù)參數(shù)：
1.名稱：充氮厭氧烘箱 
2、主要技術(shù)指標(biāo)：
2.1溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200℃；
2.2溫度偏差：≤±2.0℃；
2.3升溫速度：≥5℃/min（全程平均）；
2.4工作尺寸：W800×H800×D1000mm
2.5電源：AC380V 50HZ 12KW 
厭氧烘箱，無氧化烘箱結(jié)構(gòu)：
3.1箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)磁性拉絲不銹鋼；
3.2內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼；
3.3保溫材料：超細(xì)玻璃棉； 
3.4排 氣 口：ф50；
3.5 隔 板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG；
3.6空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機(jī)；
3.7加熱方式：不銹鋼電加熱器；
厭氧烘箱，無氧化烘箱溫控系統(tǒng)
4.1溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；
4.2控制儀表：進(jìn)口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃；
4.3超溫保護(hù)儀表：獨(dú)立于工作室主控制的超溫保護(hù)系統(tǒng)，保證試驗(yàn)品的安全；
4.4控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進(jìn)口元?dú)饧?/span>